ES640 带电器件模型 (CDM) 测试系统
1. 介绍 带电器件模型 (Charged Device Model, CDM)静电放电是微电子电路故障的常见原因。相对较低电压下的 CDM 放电可能会严重损坏或毁坏敏感器件。当带静电的设备接触不同电位的金属表面时，通常会发生这种情况。CDM静电放电通常具有极快的上升时间。 ES640 型带电器件模型测试系统是一款自动化的CDM测试系统，旨在满足各种流行的 CDM 测试标准和方法，支持场感应放电模
1. 介绍
带电器件模型 (Charged Device Model, CDM)静电放电是微电子电路故障的常见原因。相对较低电压下的 CDM 放电可能会严重损坏或毁坏敏感器件。当带静电的设备接触不同电位的金属表面时，通常会发生这种情况。CDM静电放电通常具有极快的上升时间。
ES640 型带电器件模型测试系统是一款自动化的CDM测试系统，旨在满足各种流行的 CDM 测试标准和方法，支持场感应放电模型 (FI-CDM) 和直接放电模型 (D-CDM) 测试。该系统包括计算机、环境控制室、精密XYZ运动系统、不同类型的 CDM 测试装置以及自动测试和数据分析软件。
2. 特征
高分辨率摄像头（3 个）可轻松对准引脚进行操作
高分辨率运动控制系统（步进可小于1 µm）
可批量测试多个器件
密闭测试环境，提高干燥装置效率
支持再生式干燥装置（成本低于氮气）
系统配备内置真空泵，可将被测器件固定于测试平板的任意位置
3. 应用
用于封装和晶圆级测试的通用带电器件模型 (CDM) 系统
支持多种流行的最新CDM测试标准和方法：
ANSI/ESDA/JEDEC JS-002
AEC Q100-011 Rev-D
AEC Q101-005 Rev-A
ANSI/ESD SP5.3.3-2018
CC-TLP
可根据要求提供传统和定制解决方案
参数 | ES640-150 | ES640-300 | 单位 | 备注 |
XY 方向最大移动区域 | ≥150×150 | ≥300×300 | mm | 测试探针的移动区域 |
DUT最大面积 | 160×160 | 375×425 | mm | DUT 的最大场板面积 |
场板面积 | 210×210 | 395×470 | mm | 场板面积 |
Z轴最大行程 | mm | 可定制 | ||
最小 X、Y、Z 步长 | 1 | um | ||
定位重复性精度 | 优于 ±6 | um | ||
放电针针头尺寸 | 0.25-0.35或者0.5-0.6 | mm | 可定制 | |
DUT最小Bump Pitch | ≤0.3 | mm | ||
DUT固定方式 | 真空吸附, 定制夹具 | 可定制夹具, 吸盘孔位 | ||
DUT固定区域 | Dielectric Layer上任意位置 | |||
测试管脚定义方式 | 支持KiCAD/ASCII/文本文档定义；支持软件按照XY坐标定位任意管脚 | |||
测试电压范围 | ± 1 至 2000 或 4000 | V | 默认2000V，可定制 | |
测试电压步进 | ±1 | V | ||
测试电压精度 | ||||
XY方向分辨率 | 1920×1080 | 像素 | 缩放和平移 | |
垂直方向分辨率 | 像素 | 缩放和平移 | ||
工作温度 | 10 至 40 | ℃ | ||
工作湿度 | 0 至 80 | % | ||
电源 | 120-240V，50/60 Hz交流电 | |||
功率 | 500 | W | ||
N2 或 CDA 压力 | 10 120 | PSI | ||
N2 或 CDA 峰值使用量 | 0.2 cfm 或 0.34 m3h | |||
300 N2 罐平均使用量 | 〜19 | 小时 | 连续@40RH环境 | |
干燥剂平均使用量 | 〜24 | 小时 | 连续@40RH环境 | |
测试平台协同 | 支持与公司同架构的ES660/ES612/ES622等系统平台进行软件协同，实现测试方案共享、测试数据互通等功能。 | 不同测试平台的测试方案和分组定义可导入其他测试平台软件。 | ||
编号 | 型号 | 描述 |
ES640 带电器件模型 (CDM) 测试系统 | ||
1.1 | ES640-150 | 通用 CDM 平台，150 X 150 mm 测试区域，2 kV |
1.2 | ES640-300 | 通用 CDM 平台，300 X 300 mm 测试区域，2 kV |
1.3 | ES640-HC | 空气放电模式湿度调节装置 |
1.4 | ES640-CV4 | 充电电压从 2kV 升级至 4 kV |
1.5 | ES640-CPC | 定制场板（可更改真空吸附孔的设计） |
1.6 | ES640-VP1 | 用于固定 DUT 的真空泵（可选，软件控制） |
1.7 | ES640-VP2 | 高压喷嘴清洁装置（可选，软件控制） |
ANSI/ESDA/JEDEC JS-002-2018 标准相关（遵循的标准包括 AEC_Q100-011D、AEC_Q101-005A） | ||
2.1 | ES640-JS002 | JS002 放电装置 |
2.2 | ES640-JS002 - C | JS002/C101 校准盘（6.8pF、55pF） |
2.3 | ES640-JS002-P1 | JS002 可更换弹簧针 #1（直径 0.5-0.6 毫米） |
旧版 AEC 标准相关 | ||
3.1 | ES640-AEC-F | 旧版AEC Q100-011 Rev-C1_FI-CDM 放电装置 |
3.2 | ES640-AEC-D | 旧版AEC Q100-011 Rev-C1_D-CDM 放电装置 |
3.3 | ES640-AEC-C | 传统AEC 校准模块（4pF、30pF） |
接触放电解决方案 （提高放电稳定性的新方法，尚未标准化） | ||
4.1 | ES640-RPCCDM | 场感应器件充电，先接触后放电的CDM 测试方案 （非常可重复的先接触后放电测试方法，波形满足JS002要求，不需要vf -TLP） |
4.2 | ES640-LICCDM | SP5.3.3-2018 LI-CCDM放电解决方案 （包括放电单元、软件支持、需要vf -TLP） |
4.3 | ES640-CCTLP | DSP5.3.4 CC-TLP（尚未发布） （包括放电单元、软件支持、需要vf -TLP） |
4.4 | ES640-vfTLP | 用于 CC-TLP 或 LI-CCDM 方法的Vvf -TLP 模块 （此vf -TLP 模块是适用于 ES640 系统的紧凑型vf -TLP。默认配置为 1 个上升时间 + 1 个脉冲宽度，扩展能力有限。如果需要更多脉冲形状选项，请使用 ES622 TLP/ vf -TLP脉冲源） |
第三方仪器 | ||
5.1 | MISC-OSC6G | 数字示波器（6 GHz，20 Gs） |
主窗口图形 /用户界面
3摄像头DUT对齐窗口 GUI
系统校准/验证 GUI
各类CDM放电方案夹具 (JS002/RP-CCDM/LI-CCDM/CC-TLP)
设备的软件具备免费开放的HTTP API接口，可以实时与第三方系统对接进行程控，速率秒级以内。