1. 描述

ES660系列静电放电（Electrostatic Discharge, ESD）和闩锁(Latch Up, LU) 测试系统是一套先进的多引脚自动化测试设备，旨在满足现代半导体测试的严格要求。这款多功能设备可支持人体模型 (HBM)、机器模型 (MM) ，闩锁 (LU) 以及瞬态闩锁 (TLU) 测试，为评估集成电路新品 (IC) 和电子元件的可靠性和稳健性提供全面的解决方案。

ES660 测试系统的当前最大测试引脚数为1280个，配有开放式通用卡槽，非常适合测试具有多管脚的复杂 IC 和电子元件。测试系统有继电器架构的大型矩阵开关，用于测试引脚的全电子式切换，测试过程中，测试模组无需进行机械移动即可完成HBM/MM/LU测试。其高引脚数容量确保用户能够精确高效地评估大型电子器件，减少测试时间，提高生产率。对于更多引脚数的ESD及LU测试机型，ES660-P2测试系统正在研发中，预计最大测试引脚数可达2048个。

测试系统配有专用测试软件，能够实现测试过程的全自动化。软件可支持各种通用示波器品牌（Keysight, Agilent, Tektronix, Rigol等）的程控，程控后软件可进行示波器波形自动采集、处理、存储。系统可实现与多种型号的DC源、数字源表的连接和程控，进行LU脉冲注入、DC偏置电压的分别设置和加载，以及IV特性曲线最大超过200个点的扫描，测试数据可自动记录和存储在软件中。软件还能够与同公司的ES640 ES650等设备的软件协同工作，共用测试计划和分组设置。

2. 特征

兼容多种测试方法和标准
高度灵活的偏置和引脚数配置功能
高效的自动化测试专用软件
先进的控制和监控
漏电和直流IV扫描
数据分析

3. 应用领域

半导体器件ESD测试
HBM测试方案符合 ANSI/ESDA/JEDEC JS-001 、 MIL-STD-883E、AEC Q100-002、AEC Q101-001标准
MM 测试方案 ANSI/ESDA SP5.2标准
闩锁符合 JEDEC JESD78、AEC-Q100-004标准
瞬态闩锁符合 ANSI/ESD SP5.4.1标准

ES660 主机框架

参数	ES660	单位	备注
触摸屏尺寸	7	in
设备尺寸	62 x 62 x 124	cm
设备重量	108 - 168	kg	随配置变化完整安装
ESD 和 LU 波形	可选无源电压和电流探头
支持的示波器	大多数型号来自 Keysight、Tektronix、LeCroy、Rigol		可定制
支持的SMU	大多数型号来自 Keysight、Tektronix、LeCroy、Rigol		可定制
支持的电源	大多数型号来自Keysight、Tektronix、LeCroy、Rigol		可定制
全电子式继电器切换	是
最大管脚数	256、512、768、1024、1280	个	可定制
管脚到管脚的切换时间	≤10	ms
软件控制捕捉及存储波形	是

HBM 人体模型测试方案

（ANSI/ESDA/JEDEC JS-001-2023）

参数	ES660-P1-HBM8	ES660-P1-HBM10	单位	备注
输出电压	±0～8000	±0～10000	V
最小电压步进	±1		V
最多脉冲源数量	>=24		个	根据总管脚数量，脉冲源个数会有所不同
最大可同时测试DUT数量	>=12		个	总管脚数量应不超过主机最大管脚数
放电模块RC值	C：100pF±10%，R：1.5kΩ ± 1%
短路负载峰值电流 I ps	0.67 ± 10 % 每kV		A
短路负载上升时间t rs	2 < t rs <10		ns
短路负载衰减时间tds	130 < tds < 170		ns
短路负载振铃时间	< Ips的 15%
500 Ω负载峰值电流Ipr	Ipr / Ips≥63 %
500Ω负载上升时间trr	5 < trr < 25		ns
软件控制捕捉及存储波形	是
脉冲间隔范围	0.1～20		s
内置IV扫描测试点数	≥200		个
Pre-voltage功能软件控制	是

MM机器模型测试方案

（ANSI/ESD SP5.2-2019）

参数	ES660-P1-MM2	ES660-P1-MM4	单位	备注
输出电压	± 0~2000	± 0～4000	V
放电RC值	C：200pF，R： 0Ω
短路负载峰值电流Ip1	1.75±10%每100V		A
短路负载 Ip2	Ip1的 67% ~ 90%		A
短负载脉冲周期tpm	66 <tpm< 90		ns
500 Ω 负载峰值电流Ipr	0.85 – 1.2		A	根据标准@400 V条件
500 Ω 负载 I100	0.23 – 0.4		A	根据标准@400 V条件

LU 闩锁测试方案选项

（JEDEC JESD78F.01）

参数	ES660-P1-LU	备注
预处理向量	≥ 20 MHz，256K 深度；电压L=0V、H=0.5-5V	外部设置
V/I 4 线开尔文测量	是
DUT V/I 电源	3+1、5+1、7+1	具体信息见订购信息
支持高温LU测试	20℃~225℃	外置热源
软件控制捕捉及存储波形	是

TLU 瞬态闩锁选项

(ANSI/ESD SP5.4.1)

对闩锁瞬态脉冲源的预定硬件支持：

TLP/ vf -TLP、EOS、MM等

（除MM可以内置以外，其他脉冲源为外置设备，需单独采购）

编号	型号	描述
基本选项
1.1	ES660-P1-BU	基于继电器的 HBM/MM/LU/TLU ATE 系统基本单元
1.2	ES660-P1-HBM8	人体模型最高能力高达 8 kV
1.3	ES660-P1-HBM10	人体模型最高能力高达 10 kV
1.4	ES660-P1-MM2	机器模型最高能力高达 2 kV
1.5	ES660-P1-MM4	机器模型最高能力高达 4 kV
1.6	ES660-P1-LU	闩锁能力（软件）
1.7	ES660-P1-TLU	瞬态闩锁能力（软件）
继电器卡选项
2.1	ES660-P1-R64B4	用于单卡64 针、最多3 个DC偏置源+1个LU脉冲源的扩展继电器卡
2.2	ES660-P1-R64B6	用于单卡64 针、最多5个DC偏置源+1个LU脉冲源的扩展继电器卡
2.3	ES660-P1-R64B8	用于单卡64 针、最多7个DC偏置源+1个LU脉冲源的扩展继电器卡
直流、漏电和 LU 脉冲源选项
3.1	ES660-PSMU2	漏电\DC\LU 脉冲源：双通道SMU (150V/1.2A)
3.2	ES660-SMU1	漏电\直流源：单通道 SMU (200V/1A)
3.3	ES660-PSU1	直流电源：灵活通道 (32V/3A X2ch + 6V/5A X 1ch, or 70V/3A X1ch, or 32V/6A X 1ch)
3.4	ES660-PSU2	直流电源：3 通道 PSU（60V/3A X 2 Ch、5V/3A X 1 Ch , or 125V/3A 1ch）
3.5	ES660-PSU3	直流电源：单通道PSU（20V/20A）
3.6	ES660-PSU4	直流电源：单通道PSU（30V/25A）
3.7	ES660-PSU-MC1	多通道电源主机
3.8	ES660-PSUC3	电源模块，60V / 5A
3.9	ES660-PSUC5	电源模块，100V / 3A
测试插座选项
4.1	ES660-P1-DS256	DUT 插座 PCB 256 针
4.2	ES660-P1-DS768	DUT 插座 PCB 768 针
4.3	ES660-P1-DS1024	DUT 插座 PCB 1024 针
4.4	ES660-P1-DS1280	DUT 插座 PCB 1280 针
4.5	ES660-P1-DSC1	DUT 插座 PCB 定制引脚数
示波器选项
5.1	MISC-OSC350M	数字示波器（350 MHz带宽）
5.2	CT-T03-1p0	宽带电流探头，1V/A，2kHz – 2GHz

设备的软件具备免费开放的HTTP API接口，可以实时与第三方系统对接进行程控，速率秒级以内。

图片关键词

ES660 静电放电和闩锁测试系统